ДСТУ EN 62047-11:2022 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод испытания коэффициентов линейного теплового расширения отдельно стоящих материалов для микроэлектромеханических систем (EN 62047-11:2013, IDT; IEC 62047-11:2013, IDT)