ДСТУ EN 62047-25:2022 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 25. Технология производства MEMS на основе кремния. Метод измерения прочности на растяжение и смещение зоны микросоединения (EN 62047-25:2016, IDT; IEC 62047-25:2016, IDT)