ДСТУ EN ISO 14644-13:2022 Чистые помещения и соответствующая контролируемая среда. Часть 13. Очистка поверхностей для достижения определенных уровней чистоты с точки зрения классификации частиц и химических веществ (EN ISO 14644-13:2017, IDT; ISO 14644-13:2017, IDT)