ДСТУ EN ISO 25178-604:2022 Геометрические спецификации изделия (GPS). Текстура поверхности: Areal. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных (когерентная сканирующая интерферометрия) инструментов (EN ISO 25178-604:2013, IDT; ISO 25178-604:2013, IDT)