Наименование документа
ДСТУ EN 62047-12:2022 Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытания тонкопленочных материалов на усталость при гибке с использованием резонансной вибрации структур MEMS (EN 62047-12:2011, IDT; IEC 62047-12:2011, IDT)
Дата начала действия
31.12.2023
Дата принятия
28.12.2022
Статус
Действующий
Утверждающий документ
Приказ от 28.12.2022 № 285 О пакетном принятии европейских нормативных документов CEN/CENELEC
Вид документа
ДСТУ (Государственный Стандарт Украины)
Шифр документа
62047-12:2022
Разработчик
ГП «Украинский научно-исследовательский и учебный центр проблем стандартизации, сертификации и качества» (ГП «УкрНИУЦ»)
Дополнительные данные
Із змінами і доповненнями, внесеними наказами ДП «УкрНДНЦ» від 13.04.2023 № 64