Наименование документа
ДСТУ EN 62047-16:2022 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 16. Методы испытания для определения остаточных напряжений пленок MEMS. Кривизна пластины и методы отклонения балки консоли (EN 62047-16:2015, IDT; IEC 62047-16:2015, IDT)
Дата начала действия
31.12.2023
Дата принятия
28.12.2022
Статус
Действующий
Утверждающий документ
Приказ от 28.12.2022 № 285 О пакетном принятии европейских нормативных документов CEN/CENELEC
Вид документа
ДСТУ (Государственный Стандарт Украины)
Шифр документа
62047-16:2022
Разработчик
ГП «Украинский научно-исследовательский и учебный центр проблем стандартизации, сертификации и качества» (ГП «УкрНИУЦ»)
СКАЧАТЬ БЕСПЛАТНО